Nyang laen nakeuh gas{0}}fase, metode deposisi uap kimia (CAV), cit geuturi seubagoe cara pirolisis, metode tho atawa cara pembakaran. Bahan mentah umum jih nakeuh tetraklorida silikon, oksigen (atau udara) ngon hidrogen, nyang bereaksi bak suhu nyang tinggi.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO2+4HAL. Udara ngon hidrogen maseng-maseng dipeulakukan, peumisah, peuluweueng ngon dehidrasi, peuthoe gel silika, penghapusan abe ngon filtrasi sigohlom dikirem lam tungku hidrolisis sintetis. Lheueh bahan mentah tetraklori silikon geukirém u kolom distilasi keu distilasi, nyan geupeusuum ngon geu-uap lam evaporator, ngon lheueh nyan geukirém u tungku hidrolisis sintetis ngon udara tho ngon ka geusareng seubagoe pembawa. Tetraklorisi silikon geu uap bak suhu tinggi (suhu apui 1000-1800 ) lheuh nyan geujalani hidrolisis gas{8}} geumat deungon jumlah hidrogen ngon oksigen terteunte (atau udara) bak sekitar 1800 derajat. Bak titek nyoe, partikel silika fase gas nyang dihasekan that halus dan membentuk aerosol deungon gas, nyang payah ditangkap.
Kareuna nyan, awak nyan phon that geukumpoi jeut keu partikel-partikel nyang leubeh rayeuk lam agregator, lheuh nyan geukumpoi le peumisah siklon, dan geukirém u tungku deasidifikasi. Gasap- meuhasé silika geurhah deungön nitrogen-}h sampoe nibak nilai PH nakeuh 4 sampoe 6, nyang jeuet keu produk nyang ka lheueh .